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壓力傳感器標定在mems產業中的應用
發布時間:2022-11-03 17:15瀏覽次數:

近年來,美國商務部出台了一些列對華限製措施,其中就報包括禁止將使用美國設備(bèi)製造的某些壓力傳感器芯片銷(xiāo)售給中國,為了實現MEMS壓力(lì)傳感器芯片核心技術自主可控,消(xiāo)除被“卡脖子”的風險,各地(dì)方政(zhèng)府對MEMS產業的投入(rù)逐漸加大,國內一些(xiē)工業傳感器製造企業(yè)也開始擁(yōng)有高性能傳感器芯片的設計、流片和封裝測試能力,與之相關的,對自動化批(pī)量測試的壓(yā)力傳感器標定係統(tǒng)的需求也隨之增加。

壓力傳感器校驗台

恒升偉業自主研發(fā)製造的HSIN6800壓力(lì)傳感器標定台主要包括氣源裝置,WIKA壓(yā)力控製器裝(zhuāng)置,標定實施裝置和數據處理裝置。標定實(shí)施裝置與壓力控製裝置連通,用於通過不同壓力的氣體對待標定傳感器施加壓力,再(zài)根據設定自動(dòng)連續輸出不同壓力的氣體,避免人為誤差。數據處理裝置同時采集預設壓力值,壓力真實值和電信號值,減小了(le)數據采集的時間差(chà),保(bǎo)證(zhèng)了數據采集的同步性。HSIN6800壓力校驗台可有效提高(gāo)待標定傳感器的標定模型(xíng)的準確性。

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