MEMS壓(yā)力傳感器(qì)是一種基於MEMS工藝和集成電路技術的新型壓力測量儀器,具有(yǒu)體積小、精度高、成本低、可批量生產等優點(diǎn),在工業領域有著廣泛的應用,在航天領(lǐng)域也有著(zhe)廣泛的應(yīng)用,通常應用於航天器的速度、麵壓、發動機內(nèi)壓等參數。MEMS壓力傳感器在應用到航天(tiān)器(qì)前必須經過壓力(lì)傳感器檢定裝置(zhì)的標定合格。
MEMS技(jì)術在航空航天領(lǐng)域中的應用主要(yào)有五種場合:
1.供有關航(háng)天器的工作信息,起故(gù)障診斷的作用;
2.判斷各分係統間工(gōng)作的協調性,驗證設計方案;
3.提供全係統自檢所(suǒ)需信(xìn)息(xī),給工(gōng)作人員(yuán)決策提供依(yī)據;
4.提供各分係統、整機內部檢測參(cān)數,驗證(zhèng)設(shè)計的正確性。
5.監測飛(fēi)行器內外部的環境,為飛行員航(háng)天(tiān)員提供所需的生(shēng)存條(tiáo)件,保障(zhàng)正常飛行參數。
毫無疑問,MEMS壓力傳感器(qì)作為重要的傳感器(qì),其計量準確性對飛行安全,乃至國民經濟的發展都有著重大(dà)的影響。因此(cǐ),在關注MEMS 壓力傳感器研究進程的同時, 針對MEMS壓力傳感器標定的傳感(gǎn)器標定係統的發展也不容忽(hū)視。
北京恒升(shēng)偉業科技有(yǒu)限公司研製的HSIN6800壓力傳感器標定(dìng)測試(shì)係統設計(jì)了信號采(cǎi)集、處理電路,顯示控製電路以及與上位機的通訊,可以廣泛應用(yòng)於工業化領域MEMS壓力傳(chuán)感器的現場標定,做到即(jí)采即標,使MEMS壓力傳感器的標定方便快捷,對於工業自動化(huà)的發展和航天飛行的安全發展有著重要意義。
- 2023-09-20
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