普(pǔ)通壓力傳感器通常是指傳統的機械量壓力傳感器,它主要基於(yú)金(jīn)屬彈性(xìng)體受力變形,由機械量彈性變形到電量(liàng)轉(zhuǎn)換輸出,因(yīn)此它(tā)不可能如(rú)MEMS壓力傳感器那樣微小,並(bìng)且成本也遠遠高於MEMS壓力傳感器。而相對於傳統的機械(xiè)式壓力傳感器,MEMS壓力傳感器的尺寸更小,使造價相對於傳統“機械"製造技術大幅度(dù)提高(gāo)。兩種壓力傳感器在投入生產使用前都需要經過壓力傳感器標定係統標定合格(gé)。
MEMS壓力(lì)傳感器是一種薄(báo)膜元件,受到壓(yā)力時會產生變形,常常通過壓阻或者電容的(de)形式(shì)將形變轉化為電信號,再經(jīng)過(guò)過轉換元(yuán)件和轉換電路,輸出與壓力成線性關係的電流或(huò)者電(diàn)壓信號。
MEMS壓力(lì)傳感(gǎn)器主要有(yǒu)壓阻式和電容式兩種,在工藝和性能上,壓阻式工藝複雜,溫度特性較差,電容式除了具有低溫度係數,零靜態功耗(hào)等優勢,還具有靈敏度高、線(xiàn)性度好、後續處理電路易於設計等優點。
MEMS技術正在成為芯片公司的(de)新貴,從移動通信(xìn)和計算機,到消費電(diàn)子、保(bǎo)健產品和工業控製,MEMS 應用正在(zài)迅速擴張成為增長熱點。壓力傳感器實(shí)際運用前為(wéi)了保(bǎo)證使用精(jīng)度需對傳感(gǎn)器進(jìn)行校驗標定,因此,MEMS壓力傳感器的大批量標定的也成(chéng)為了一個迫切需要解決的問題。
恒升(shēng)偉業HSIN6800全自動壓力芯片(piàn)校驗工裝由基準壓力校驗控製模塊,待測壓力傳感器數字采(cǎi)集模塊和PC自動化處理(lǐ)模塊組(zǔ)成,具有模塊化設計、自動化程度高(gāo)、標定結果***度高等優點,係統根據客戶(hù)需求可一次篩選1-48支(可擴展至350支)及以上的壓力傳感器,可(kě)廣泛運用與MEMS壓力(lì)傳感器芯片的全自動大(dà)批量標定。
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