MEMS壓力感器按精度等級可以分為低、中、高三類,其中高精度的MEMS壓力傳感器主要應用於軍用級(jí)和宇航級產品,精度要求高,具有溫度範圍(wéi)寬(kuān)、可抗衝(chōng)擊等性能,MEMS壓(yā)力傳感器正在向更高集成(chéng)度和更高精度的(de)方向(xiàng)發(fā)展,且隨著MEMS壓力傳感器技術的不斷發展與進步,對壓力傳感器標定係統的精度要求(qiú)也越(yuè)來(lái)越高。
MEMS壓力傳感器在投入使用前,一(yī)般需對其進行測試與標定。通過測試標定(dìng)可以獲得MEMS壓力傳感(gǎn)器的誤差參數,從而對其進行補償校準,以提高應用精(jīng)度。目前MEMS壓力傳感(gǎn)器的測試標定主要以人工為主,此(cǐ)種方法耗時長、效率低且易(yì)出錯。即便有自動測試基(jī)本上僅針對單個的傳感器,無(wú)法實現批量(liàng)化自動測試。當對批量化生產的MEMS壓力傳感器進行(háng)測試標定時需要投入大(dà)量的人力物力,阻(zǔ)礙了MEMS壓力傳感器(qì)的應用及產業(yè)化發展。
為了解決MEMS壓力傳感器自動批量測(cè)試標定的難題,恒升偉業經過大量MEMS工況的調(diào)研,並結合了大部分(fèn)用戶的檢定需求,依據現有的壓力傳感(gǎn)器檢定規程,研發製造了一套全(quán)自動MEMS壓力傳感器標定係統,有效提高了(le)MEMS壓力傳感器測試標定的自(zì)動(dòng)化程度和效率,對推動我國MEMS壓力傳感器的研發(fā)和產業(yè)化有著重要的意義。
- 2023-09-20
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