HSIN6800全自動壓力傳感器標定係統是恒升偉業公司新研製的壓力傳感器全(quán)自動(dòng)篩選係統,主要由集成機櫃、mensor壓力控製器、增壓係統、冷切係統、電腦及(jí)相關壓力附件等構成,通過不同壓力的氣體對待標定傳感器施加壓力,並輸出多個壓力真實(shí)值,壓力(lì)控製器再根據設定自動連續輸出不同壓力的氣體。
壓力傳感器的標定本質是確定壓力(lì)傳感器的測量精度(dù),從而依據實驗數據來確定傳感器的各項性能指(zhǐ)標,因此壓力傳感器標定時,所用測量設(shè)備的精度要比待標定傳(chuán)感器的精度高(gāo)一個(gè)數量級。這樣才能保證壓力傳(chuán)感器獲(huò)得可靠的性能指標,可靠的數據。
1.零點輸出及其熱(rè)漂(piāo)移係數
零點輸出(chū)就是指在某一參考溫度和(hé)一(yī)定電激勵條件下,無外加壓力(lì)時,壓力傳感器的輸出。零點輸出電(diàn)壓有時可(kě)以達到比滿量程時輸出(chū)電壓還大。這時通過對力敏電阻電橋的某一特定(dìng)溫度是很容易實現的。重要的是指 定溫度範圍的(de)zui大零點輸出電壓與滿量程輸出電壓之比。如果此比值小於(yú)0.8%,則可認為這是相當好的傳感器;如果大於4%,則零(líng)點輸出便是相當大了(le)。因此經溫度(dù)補償的(de)壓力傳感器(qì),零點輸出電壓通(tōng)常應小於1~5mV。而相應滿量程輸出應達到100~150mV。
2.滿量(liàng)程輸出及熱靈敏度漂移
滿量程輸出是指在某一溫度和一定(dìng)激勵電流或(huò)電壓下,給壓力(lì)穿昂起在規定(dìng)的zui大壓力量程時的有效輸出信號電壓。滿量程輸出應盡可能大。在橋外10V激(jī)勵電壓(yā)下,一(yī)般可達到100~150mV以(yǐ)上(shàng)。
質量(liàng)較好的壓力傳感器,這(zhè)與力敏電阻條(tiáo)的摻雜濃度及其布置(zhì)密切相關。當力敏電阻布置在膜(mó)麵上的應力zui大的區域,才(cái)會有較大的滿(mǎn)量程輸出(chū)。一般大(dà)多數未經補償的壓力傳感器,其熱靈敏度漂移(yí)係數為負值,其數值一般為0.19%~0.24FS/℃。通過適當(dāng)摻雜以及補償技(jì)術可以改進(jìn)靈敏度溫(wēn)漂。
如果(guǒ)采用(yòng)+0.215%FS/℃,參考溫度為25℃,則在15℃和35℃下,傳(chuán)感器的精度(dù)下降±0.5%FS。前麵已提到,基本精度中不包(bāo)括溫度效應。代表某一參考溫度(dù)(25℃)下非線性度、遲(chí)滯和重複性的誤差影響。也就是說,在(zài)參考溫度下(xià)測得(dé)的精度是傳感器的基本精(jīng)度。偏離參考溫度時,便出現零點和靈敏度的熱漂移(yí),使精度進一步降低。因此需要用綜合溫度係數來反映溫度對總精度的影響。
3.穩定(dìng)性和重(chóng)複性
穩定性和重複性都是指(zhǐ)壓力傳感(gǎn)器經受力壓力或溫度循環時,在某一溫度下重複測量規定量程內(nèi)任何壓力時輸出值的一致(zhì)性。重複性是短期指標,而穩定性則是長期(qī)指標。壓力和溫度滿量程循環下的重複性是評價壓力穿昂起質量的一(yī)個(gè)重要指標。重複性(xìng)越好,傳感的工作越佳。衡量(liàng)重複性的(de)指標是某一參考(kǎo)條件下,多次(cì)測量的誤差相對於(yú)滿量程輸出的百分比。每次測量後接著要做全程壓力和全程溫度循環。也就是說,下(xià)一次(cì)測量(liàng)在溫度和壓力循環完成(chéng)後(hòu)再(zài)進行。
穩定性便是一(yī)年內在一定參考(kǎo)條件(如一定溫度)下,多次測量的誤差相對於滿量程輸出的百分數。
4.遲滯
遲滯包括機械和熱遲滯,是壓力或(huò)溫度什程和降(jiàng)程輸出信號不一致的程度。將其定義為經過一個規定的機械和熱循環(即壓力或溫度的升和降(jiàng))後(hòu)輸出信號的zui大誤差。循環的範圍必須是壓力或溫度(dù)的上、下限。
5.線性度
壓力傳感器的線性是指輸出信號與輸入壓力之間關係曲線接近直線的程度。將壓力傳感器的輸出電壓與壓力之間的關係曲(qǔ)線與直線的偏離量與滿量(liàng)程輸出電壓之比稱為非線性誤差是對(duì)校準曲線和所選擇的擬合直線(xiàn)的共同評價,是兩者一致(zhì)性的共同描述。危險性誤差對傳感(gǎn)器來(lái)說不是一(yī)個確定(dìng)量(liàng)。對同一條校準曲線來說,擬合直線不同,非線(xiàn)性誤差就不(bú)同。為(wéi)了對壓力傳感器(qì)的校準曲線的線性進行評估,需要得到zui佳擬合直線。他與校準曲線之間的(de)zui大偏差在(zài)所有(yǒu)可能的擬合直線中zui小。
目前廣泛應用的擬合直(zhí)線有三種,即zui小二乘以擬合直線、端點直線、零基準zui小二乘以擬合(hé)直線(xiàn)。
- 2023-09-20
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