MEMS壓力傳感器是(shì)一種基於MEMS工(gōng)藝和集成電路技術的新型壓力測量儀器,具有體積小、精度高、成本低、可批量生產等優點,在工業領域有著(zhe)廣泛的應用,在(zài)航天領域也有著廣泛的應(yīng)用,通(tōng)常(cháng)應用於航天器的速度、麵壓、發動機內壓等參(cān)數。MEMS壓力傳感器(qì)在應用到航天器前必須經過壓力傳感器檢定裝置的標定合格。
MEMS技術在(zài)航空航天(tiān)領域中的應用主要(yào)有五種場(chǎng)合:
1.供有關航天器的工作(zuò)信息,起故障診斷的作用;
2.判斷各分係統間工作(zuò)的協調性,驗證設計方案;
3.提供(gòng)全係統自檢(jiǎn)所(suǒ)需(xū)信息(xī),給工作人員決策(cè)提供依據;
4.提供各分係統、整機內部檢測參數,驗證設(shè)計的正確性。
5.監測飛行器內外部的環境,為飛行員航天員提供所需(xū)的(de)生存條件,保障(zhàng)正常飛行參數。
毫無疑問,MEMS壓力(lì)傳感器作(zuò)為重要的傳感(gǎn)器,其(qí)計量準確性對飛行安全(quán),乃(nǎi)至國民經濟的發展都有著重大的影響。因此(cǐ),在關注(zhù)MEMS 壓力傳感器研究進程的同時, 針對MEMS壓力傳感器標定的傳(chuán)感器標定係統的(de)發展也不容忽(hū)視。
北京恒升偉(wěi)業科技有限公(gōng)司研製的HSIN6800壓力傳感器標定測試係統設計了信號采集、處理電路,顯示控製電路以及與上(shàng)位機的通訊,可以廣泛應用於工業化領域MEMS壓力傳感器的現場(chǎng)標定,做(zuò)到即采即標,使MEMS壓力傳感器的(de)標定方便快捷,對於工業自動化的發展和航天飛行的安全發(fā)展有著(zhe)重(chóng)要意義。
- 2023-09-20
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